全ての制御要素を極めたステッピングサーボモータ

高速フィールドバス対応リンクユニット

新開発のアクチュエータ

新感覚の
ステッピングモータ

位置決めコントローラ内蔵ACサーボドライバ・モータ

アライメント用UVW軸ステージコントローラ

直交ロボット専用
コントローラ

パネル一体型コントローラ

ACサーボモータ搭載、シャープなシャクリが自慢

ナノインプリント
リソグラフィー

MEMSデバイス、及び各種半導体研究用スプレーコーター

サイズ自由、追加工・塗装色も指定可能の板金キャビネット